三維表面形貌測量儀特點：
一款的3D光學測量儀
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。
和
LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等